CO2レーザ励起分子ガスレーザは、テラヘルツ領域の単色光を発生できるレーザで、利用する分子ガスを選ぶことにより、様々な波長の発振を得ることができます。最もよく用いられるのがメタノールガスを用いた2.5 THzの発振線で、最大約100 mWの出力を得ることができます。ナノ構造中の光子支援トンネル効果の実験などに用いられています。