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熱型蒸着装置


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本装置は真空中で電極となる金属に電流を流すことによって加熱し、蒸発させて電極薄膜を形成する装置です。本蒸着器は水晶振動子膜厚モニタを搭載しており、オームストロング精度で電極薄膜を形成することが可能です。ショットキー電極専用のものと、オーミック電極専用のものがあります。

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