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EB蒸着装置


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写真の蒸着装置(アネルバおよび鈴木商館製)はクリーンルーム内でも比較的新しい装置の一つです。真空チャンバー内で金やアルミニウムといった金属の塊に電子線を照射して金属のビームを作り、それを試料表面に入射させることで金属薄膜を作製します。 この装置には、利用頻度の高い蒸着作業の高効率化をねらってクライオポンプを搭載。大気解放後10分以内に蒸着作業を開始することが可能です。また、トンネル接合やナノ接合を作製するための基板角度可変機構を搭載し、多様な実験プロセスに対応しています。将来予想される新たな実験プロセスへの対応という観点も考慮され、多数のブランクフランジや構造のシンプルさなど、改造のしやすい構造になっています。
装置の設置、点検や整備は、教授の指導の下に学生主体で行われています。研究内容や実験プロセスを考慮した上での装置仕様に関する研究室内ミーティング、複数の製造業者との技術上、価格上の話し合い、共有利用スペースの装置の配置換えやガスおよび冷却水配管の変更に関する研究室間の打ち合わせ、等を繰り返した後に装置の搬入が行われました。現在も学生主体の装置維持管理が続けられ、装置の大容量性は実験効率の向上に寄与しています。

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