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AFM


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写真はプローブ顕微鏡です。先球半径数十ナノメートルの鋭い探針を試料の表面に近づけ、試料‐探針間の相互作用を監視しながら走査し、試料表面の形状や電気的な性質を可視化することが出来ます。原子間力を監視して表面形状を画像化する原子間力顕微鏡(AFM)、試料と探針間に流れるトンネル電流を監視する走査トンネル顕微鏡(STM)、走査に伴う摩擦を監視する摩擦力顕微鏡(FFM)等がこの一台で可能です。分解能は格子像が見えるほど高く、ナノ接合や量子ドットの形状観察に主に用いられています。真空ポンプ等に起因する機械的振動や音響振動が多い部屋に設置されていますので、防振防音には細心の注意が払われています。

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